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Product Center當前位置:首頁產品中心萬用表&功率計&測溫儀5.泰克6517B泰克6517B 靜電計/高阻表
泰克6517B 靜電計/高阻表 適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計適用于超高電阻/超低電流測量的 Keithley 靜電計從三個敏感選項中選擇,實現(xiàn)精確的高阻抗和低電流測量。5½ 位 6514 型和 6517B 型靜電計提供 1fA 靈敏度,輸入阻抗 >200TΩ 的電壓測量,以及低至 10fC 的電荷測量。6½ 位 6
品牌 | 泰克 | 產地類別 | 進口 |
---|---|---|---|
應用領域 | 電子 |
泰克6517B 靜電計/高阻表
吉時利5位半6517B靜電計/高阻表提供的精 度和靈敏度指標高于其他同類型儀表。它還具有 完備的功能,使測量高阻和絕緣材料電阻率變得 簡單。6517B具有425讀數(shù)/秒的測試速率,比同 類型的靜電計快很多,可以提供快速、簡易的弱 電流測量能力測量弱電流。
主要特點:
出眾的性能指標
半機架型6517B靜電計/高阻表具有特殊的低 電流輸入放大器,其輸入偏置電流<3fA,噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ,輸入端壓降<20μV。對于 接近理想的電路負載,其電壓和電阻測量的輸入 阻抗是200TΩ。這些性能指標確保物理、光學、納米技術和材料科學等研究領域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準確 度和靈敏度。內置±1kV的電壓源具有掃描能力,從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試 和電阻測試,以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。
測量范圍寬
6517B型靜電計/高阻表具有全自動量程,超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程:
• 電流測量范圍:1fA - 20mA
• 電壓測量范圍:10μV - 200V
• 電阻測量范圍:50Ω - 1016Ω
• 電荷測量范圍:10fC - 2μC
改進的高靈敏度測量
許多測試應用要求測量高級別材料的電阻率(面電阻率和體電阻率)。傳統(tǒng)測 量方法是對樣本施加足夠高的電壓,測量流經樣本的電流,然后利用歐姆定律(R=V /I)計算其電阻。雖然高阻材料和器件產生很小的電流,很難準確進行測量,但利用 吉時利靜電計和皮安計則可以成功地進行這種測量。
即使利用高精度儀器,材料中固有的背景電流使得進行準確測量較為 困難。由于壓電效應、電容效應和偏振效應,絕緣材料、聚合物和塑料通 常都顯示出背景電流。這些背景電流一般等于或大于施加電壓產生的電流。 在這些情況下,其測量結果往往是不穩(wěn)定的,生成不準確的電阻或電阻率 讀數(shù)甚至錯誤的負值。吉時利6517B型靜電計/高阻表旨在解決這些問題, 并為各種材料和元件提供*、可重復和精準的測量,特別是與8009型電 阻測試夾具一起使用時。
變換極性法
6517B型靜電計/高阻表使用變換電極法,實際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的第yi級和第二級漂移。變換電極法施加一個正極性 電壓,然后在延遲(測量時間)后測量電流。接著,改變電壓極性, 使用相同的延遲,重新測量電流。連續(xù)重復這個過程,并根據(jù)4個電 流測量結果的加權平均值計算出電阻。對大多數(shù)材料來說,通過7次反轉(即 舍棄前三個讀數(shù)),這個方法通常生成可高度重復、準確的電阻(或電阻 率)測量結果。例如,利用8009型測試夾具0.3%的重復度,可對1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進行測量,在15秒測試周期內其背景電流低于200fA。
與數(shù)字多用表類似的簡單操作
6517B型靜電計/高阻表采用與數(shù) 字多用表類似的簡易操作,可通過前 面板,利用單一按鈕控制電阻測量等 重要功能。還可以通過內置IEEE-488 接口實施控制,因此,可利用計算機 控制器通過總線對所有功能進行編程。
高精度高阻測量
6517B型靜電計/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測量應用的 準確度。例如,其內置電壓源簡化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之 間關系的確定。它還非常適合電容器 泄漏和絕緣電阻測量、印刷電路板表 面絕緣電阻測試、電阻器電壓系數(shù)測 試以及二極管泄漏特性分析。
溫度和濕度測試
濕度和溫度可能嚴重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準確比較在不 同情況下測得的讀數(shù),6517B型靜電 計/高阻表提供內置K型熱電偶和一個 可選的6517-RH型相對濕度探頭。其 內置數(shù)據(jù)存儲緩沖器允許記錄和調用 具有時間、溫度和相對濕度Stamping 的讀數(shù)。
附件擴展測量能力
利用多種可選附件,可以擴展 6517B型靜電計/高阻表的應用,并改 進其性能。
掃描卡。利用兩張掃描卡,可以簡化 多個信號的掃描。每張卡都可以輕松 插入儀器后面板的插槽。6521型掃描 卡提供10個低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個高阻抗電壓開 關或低電流開關通道。
測試夾具。8009型電阻率夾具是一款 受保護的測試夾具,用于樣本材料的 體電阻率和表明電阻率測量。它包括 按ASTM標準構建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計 /高阻表預編程,因此無需計算其數(shù) 值,可以稍后手動輸入。這個附件旨 在保護用戶避免接觸潛在的危險電壓 ——自動開啟夾具蓋,關閉6517B型 靜電計/高阻表電壓源輸出。
應用
6517B型靜電計/高阻表非常適合物 理、光學、納米技術和材料科學等研究 領域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電 荷測量。其極低的電壓降非常適合太陽 能電池測量,其內置電壓源和低電流靈 敏度使之成為基于聚合物的納米線等高 阻測量的出眾解決方案。其高速和易用 性使之成為質量控制、產品工程和生產 測試(包括漏流、擊穿和電阻測試)應 用的*選擇。利用6517B型靜電計/高 阻表的電壓反轉方法,可以大幅改進對 絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。 6517B型靜電計/高阻表還非常適合電化 學應用,如離子選擇性電極和pH測量、 電導電池和電勢測定。
改進型6517B靜電計/高阻表
6517B型靜電計/高阻表是一款升 級型號,用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器 建造的軟件應用程序無需任何修改即可 用于6517B型靜電計/高阻表。不過,同 早期的6517A設計相比,6517B型靜電 計/高阻表進行了一些改進。其內部電 池供電的內存緩存可存儲高達50,000個 讀數(shù),允許用戶更長時間地記錄測試結 果,并存儲更多與讀數(shù)有關的數(shù)據(jù)。該 新型儀器還為內部緩存提供更快的讀取 速度(高達425讀數(shù)/秒),還可通過IEEE 總線存入外部存儲器(速度高達400讀數(shù) /秒)。為了滿足現(xiàn)代連接和安全需求, 6517B型還連接器進行了幾處改動。
泰克6517B 靜電計/高阻表
電壓
5½位量程 | 分辨率 | 準確度 (1年)1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) | 溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) / °C |
2 V | 10 μV | 0.025 + 4 | 0.003 + 2 |
20 V | 100 μV | 0.025 + 3 | 0.002 + 1 |
200 V | 1 mV | 0.06 + 3 | 0.002 + 1 |
常模抑制比(NMRR):2V和20V量程>60dB, 200V量程>55dB。
50Hz或60Hz2。
共態(tài)抑制比(CMRR):直流時>120dB,50Hz或60Hz。
輸入阻抗:>200TΩ,并聯(lián)20pF電容,保護電容<2pF(1MΩ零檢查)。
前置放大器輸出端的小信號帶寬: 典型值100kHz (–3dB)。
注:
1. 適當歸零時,5½位,1個PLC (電力線周期),中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
2. 線路同步。
電流
5½位量程 | 分辨率 | 準確度 (1年)1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) | 溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) / °C |
20 pA | 100 aA2 | 1 + 30 | 0.1 + 5 |
200 pA | 1 fA2 | 1 + 5 | 0.1 + 1 |
2 nA | 10 fA | 0.2 + 30 | 0.1 + 2 |
20 nA | 100 fA | 0.2 + 5 | 0.03 + 1 |
200 nA | 1 pA | 0.2 + 5 | 0.03+ 1 |
2 μA | 10 pA | 0.1 + 10 | 0.005 + 2 |
20 μA | 10 pA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
200 μA | 1 nA | 0.1 + 5 | 0.005 + 1 |
2 mA | 10 nA | 0.1 + 10 | 0.008 + 2 |
20 mA | 100 nA | 0.1 + 5 | 0.008 + 1 |
輸入偏置電流:<3fA(典型值)。
溫度系數(shù) = 0.5fA/°C,20pA量程。
輸入偏置電流噪聲:<750aA p-p (capped input),帶寬0.1Hz~10Hz, 阻尼。數(shù)字濾波器= 40讀數(shù),量程20pA。
輸入電壓降(典型溫度±1°C):
在20pA, 2nA, 20nA, 2μA與20μA量程時,<20μV。
在200pA, 200nA與200μA量程時,<100μV。
在2mA量程時,<.2mV。在20mA量程時,<5mV。
輸入電壓降溫度系數(shù):在pA, nA與μA量程時,<10μV/°C。
前置放大器建立時間(達到終值10%)典型值:在pA量程時, 為0.5s (阻尼關閉)和2.0 s (阻尼開啟)。在nA量程時,為15ms (阻尼關閉);在μA量程時,為1ms (阻尼關閉);在mA量程時, 為500μs (阻尼關閉)。
常模抑制比(NMRR):在50Hz或60Hz3時,在各個量程均>60dB。
注:
1. 適當歸零時,5½位,1個PLC (電力線周期),中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
2. aA = 10-18A,fA = 10-15A
3. 線路同步。
電阻(常規(guī)方法)
量程 | 5½位分辨率 | 準確度 (10-100%量程) 18° - 28°C(1年) ±(%讀數(shù)+計數(shù)) | 溫度系數(shù) (10-100%量程) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) / °C | 自動電壓源 | 電流量程 |
2 MΩ | 10 ? | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 200 µ A |
20 MΩ | 100 ? | 0.125 + 1 | 0.01 + 1 | 40 V | 20 µ A |
200 MΩ | 1 k ? | 0.15 + 1 | 0.015 + 1 | 40 V | 2 µ A |
2 GΩ | 10 k ? | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 200 n A |
20 GΩ | 100 k ? | 0.225 + 1 | 0.035 + 1 | 40 V | 20 n A |
200 GΩ | 1 M? | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 40 V | 2 n A |
2 TΩ | 10 M? | 0.35 + 1 | 0.110 + 1 | 400 V | 2 n A |
20 TΩ | 100 M? | 1.025 + 1 | 0.105 + 1 | 400 V | 200 pA |
200 TΩ | 1 G? | 1.15 + 1 | 0.125 + 1 | 400 V | 20 pA |
注:
1. 自動電壓源歐姆性能指標,適當歸零時,5½位,1個PLC (電力線周期),中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。如果需要用戶可選電壓,請使用手動模式。手動模式顯示通過測 得電流計算出的電阻(高達1018Ω)。其準確度等同于電壓源準確度加選定電流量程的準確度。
前置放大器建立時間:在電流性能指標中,為前置放大器建立時間增加電壓源建立時間。
超過20GΩ的范圍需要根據(jù)載荷特性額外設定。
電阻(變換極性法)
變換極性序列可以補償待測材料或期間的背景(偏移)電流。大容許偏移為所用電流量程 的滿刻度。
使用吉時利8009夾具
可靠性:ΔIBG × R/VALT + 0.1% (1σ) (儀器溫度常數(shù)±1°C)。
準確度:(VSRCErr + IMEASErr × R)/VALT
其中:ΔIBG是測量得到的來自樣本和測試夾具的典型背景電流噪聲。
VALT是使用的變換極性電壓。
VSRCErr是使用VALT作為設置的電壓源準確度(單位:V) 。
IMEASErr是使用作為VALT /R讀數(shù)的電流計準確度(單位:A)。
電壓源
量程 | 5½位分辨率 | 準確度 (1年) 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) | 溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) / °C |
100V | 5 mV | 0.15 + 10 mV | 0.005 + 1 mV |
1000V | 50 mV | 0.15 + 100 mV | 0.005 + 10 mV |
大輸出電流:
100V量程:±10mA, 在<14mA時,采取硬件短路電流保護。
1000V量程:±1mA, 在<1.4mA時,采取硬件短路電流保護。
建立時間:
100V量程:到達額定準確度<8m s。
1000V量程:到達額定準確度<50ms。
噪聲(典型值):
100V量程:<2.6mV rms。
1000V量程:<2.9mV rms。
電荷
量程 | 5½位分辨率 | 準確度 (1年)1,2 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) | 溫度系數(shù) 0° - 18°C & 28° - 50°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) / °C |
2 nC | 10 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 3 |
20 nC | 100 fC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
200 nC | 1 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
2 μC | 10 pC | 0.4 + 5 | 0.04 + 1 |
注:
1. 性能指標適用于電荷剛采集后。增加
|QAV| (4fA + _____ ) TA RC 其中,TA = 電荷歸零與測量之間的時間周期(單位:秒)
QAV = 在TA周期測得的平均電荷,RC = 300,000(典型值)。
2. 適當歸零時,5½位,1個PLC (電力線周期),中值濾波器開啟, 數(shù)字濾波器 = 10個讀數(shù)。
輸入偏置電流: 典型值時,<4fA。溫度系數(shù)= 0.5fA/°C,量程2nC。
溫度(熱電偶)
熱電偶種 類 | 量程 | 準確度 (1年)1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+計數(shù)) |
K | –25°C ~ 150°C | ±(0.3% + 1.5°C) |
注:1. 不包括探測誤差,Tcal ± 5°C, 1 PLC積分時間。
濕度
量程 | 準確度 (1年)1 18° - 28°C ±(%讀數(shù)+%RH)) |
0 - 100% | ±(0.3% + 1.5°C) |
注: 1. 必須增加濕度探測準確度。對于6517-RH型,為±3% RH,探測環(huán)境溫度高達65°C, 不超過85°C。
6517B型靜電計/高阻表后面板
IEEE-488總線實現(xiàn)
實現(xiàn):SCPI (IEEE-488.2, SCPI-1999.0)。
從觸發(fā)到完成讀數(shù):150ms典型值,包括外部觸發(fā)器。
RS-232實現(xiàn):支持:SCPI 1991.0。波特率: 300, 600, 1200, 2400,4800, 9600, 19.2k, 38.4k, 57.6k與115.2k。
流程控制:無,Xon/Xoff。
連接器:DB-9 TXD/RXD/GND。
公共指標
過量程指示:當讀數(shù)>105%量程時,顯示讀數(shù) “OVERFLOW”(超額)。對于 嚴重過量程情況,顯示 “OUT OF LIMIT”(超限)。
量程設置:自動或手動。
轉換時間:可選擇0.01PLC至10PLC。
大輸入:250V峰值,直流至60Hz正弦波;對于mA量程,每分鐘大值10s。
大共模電壓(直流至60Hz正弦波):靜電計,500V峰值;電壓源,750V峰值。
隔離(儀表公共端至底盤):>1010Ω, <500pF。
輸入連接器:后面板包含3個三同軸電纜連接器。
2V模擬輸出:對滿量程輸入,為2V。在電壓模式下非反相,測量電流、電阻 或電荷時反相。輸出阻抗10kΩ。
峰值輸出:為電壓測量提供保護輸出。在電流和電荷模式下可以用作反相輸出 或外部反饋。
外部觸發(fā)器:TTL兼容的外部觸發(fā)器與靜電計。
保護:切換至可用電壓保護。
數(shù)字I/O與觸發(fā)線路:可用,參見使用手冊。
EMC:符合歐盟指令89/336/EEC, EN 61326-1。
安全:符合歐盟指令73/23/EEC, EN 61010-1。
讀數(shù)存儲:50,000。
讀數(shù)率:
至內部緩存:425 讀數(shù)/秒1
至IEEE-488總線:400讀數(shù)/秒1,2
總線傳輸:3300讀數(shù)/秒2
1. 0.01PLC,數(shù)字濾波器關閉,前面板關閉,溫度+ RH關閉,線路同步關閉。
2.二進制傳輸模式。
數(shù)字濾波器 :中值 和平均。
環(huán)境:工 作:0 ~ 50°C;相對濕度70%非冷凝,zui高35°C。
存儲:–25 ~ +65°C。
海拔:zui高高出海 平面2000 m,符合EN 61010-1標準。
預熱:1小時至額定準確度(關于推薦的程序,參見手冊)。
電源:用戶可選擇100, 120, 220, 240VAC ±10%; 50/60Hz, 100VA大值。
外形:箱體尺寸:90mm 高× 214mm 寬 × 369mm 長(3½ in. × 8½ in.× 14½ in .)。
工作尺寸:從殼體前面到后面(包括電源線和IEEE-488連接器):15.5 in。
凈重:5.4kg (11.8 lbs.)。
毛重:6.9kg (15.11 lbs.)。